1、多晶硅还原是制备单晶硅的关键工艺之一其主要流程如下1原料准备采用高品质的多晶硅Si块或片，经过清洁研磨和酸洗等工序，确保其纯度和表面质量2化学反应还原多晶硅材料与还原剂在高温下在还原反应釜中反应还原剂通常采用三氯化硅SiCl3和氢气H2，反应生成气态的硅氢化物SiH4。2、从变温变压吸附器出口得到的高纯度...