容纳蒸发材料的炉床必须水冷以避免熔化电子束蒸发与热蒸发最大的区别在于电子束蒸发是用一束电子轰击物体，产生高能量进行蒸发，热蒸发通过加热完成这一过程与热蒸发相比，电子束蒸发提供了高能量但将薄膜的厚度控制在5nm量级将是困难的在这种情况下，带有厚度监控器的良好热蒸发器将更合适与热。空调蒸发器结霜是一个常见的故障...